市場訊息
伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM390 用於MOCVD 設備測漏
某電子材料公司採用伯東移動式氦質譜測漏儀 ASM390 對生產系統 MOCVD 進行測漏，主要針對氣體的輸運系統, 管路和管道的接頭等存在洩漏可能的部位需要重點排查, 保證反應系統無洩漏.
伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM390 技術參數:
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型號 |
ASM390 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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對氦氣的抽速 |
10 l/s |
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前級泵抽速 |
35 m3/h |
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進氣口最大壓力 |
20 mbar |
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無校準的啟動時間(20°C) |
2 min |
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進氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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回應時間 |
< 1 s |
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Interface, 選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
≤ 55 dB (A) |
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重量 |
125 kg |
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尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
MOCVD 設備需要測漏:
因為MOCVD生長使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物質, 並且要生長多組分, 大面積, 薄層和超薄層異質材料. 因此在MOCVD系統的設計思想上, 必須考慮系統密封性. 對於氣體的輸運系統, 管路和管道的接頭等存在洩漏可能的部位需要重點排查, 保證反應系統無洩漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一.
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