Polycold® MaxCool 2500 L 水汽深冷泵
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Polycold® MaxCool 2500 L 水汽深冷泵

Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵
伯東公司代理 Polycold MaxCool 2500 L 冷凍機, 最大負載 2500 W, 水汽深冷泵利用低溫冷媒(-120度)通過盤管, 將水氣吸附在冷盤上, 快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. Polycold MaxCool 2500 L 冷凍機抽水氣效率高達 140,000 l/s, 在真空度 10-9 mabr 依然保證穩定吸附水氣能力, 特別適合半導體行業, MaxCool 2500 L 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應用, 可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵, 羅茨泵, 幹泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機 Polycold  MaxCool 2500 L 是舊款型號 PFC-1102 LT 全新升級款!~
 

Polycold MaxCool 2500 L 水汽深冷泵優點:
溫度: -120 至 -145 C
高真空抽氣時間縮短 75%
在真空度 10-9 mabr 依然保證穩定的水汽吸附能力
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高品質, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2, Polycold 冷凍機選用無毒, 環保型冷媒, 可迴圈使用
低功率, 低能耗, 最大負載 2500 W


Polycold MaxCool 2500 L 4000 H 水汽深冷泵技術參數對比

型號

MaxCool 2500 L

MaxCool 4000 H

最大負載:Watts

2,500

4,000

最大抽速(理論值):l/s

208,600

327,800

抽水汽效率(實際值):l/s

140,000

220,000

極限工作壓力:mbar

1 x 10-9

7 x 10-8

最大啟動壓力:atm

1

1

除霜時間:分鐘

4.0

5.5

低溫盤管、外部連接管

 

盤管表面面積:m2

1.4

2.2

單管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
27.9


16
43

雙管路:
低溫管直徑:mm
低溫管長度:m


12
18.6


16
21.9

外部標準冷凝管長度:m

2.44

2.44

冷卻水流量:rate l/min.
13C˚
26C˚
29C˚


13.6
27.3
54.1

工作噪音(最大):db

68

78

占地空間(最小):m3

40

34

重量:kg

544

533

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