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乾式真空泵 A4X 系列核心優勢：
耐腐蝕設計，使用壽命長
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
特殊設計，避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮氣吹掃閥，耐粉塵

乾式真空泵 A4X 系列應用：
半導體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
塗料行業：光伏和 LED

乾式真空泵 A4X 系列技術參數：

型號	A 124 H	A 604 H	A 1204 H	A 204 H A 204 X	A 804 H A 804 X	A 1504 H A 1504 X	A 1804 H A 1804 X
抽速 m3/h	110	560	1150	160	700	1200	1700
極限真空 (氮氣吹掃閥關閉) hPa	2X10-2	2X10-4	9X10-4	5X10-2	2X10-3	2X10-3	2X10-3
極限真空 (氮氣吹掃閥50 SLM) hPa	5X10-2	6X10-3	6X10-3	2X10-1	9X10-3	9X10-3	9X10-3
全轉速最大進氣氣流 SLM	80	60	55	150	100	100	70
最大功率 KW	1.5	1.9	2.3	1.8	2.2	2.6	2.6
最大排氣壓力hPa	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
進氣口 ISO-KF	DN 50	DN 100	DN 160	DN 50	DN 100	DN 160	DN 160
重量 kg	250	370	530	260	380	540	540

乾式真空泵 A4X 系列抽速：

 

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