離子蝕刻機 7.5 IBE
瀏覽數: 925

離子蝕刻機 7.5 IBE

離子蝕刻機 7.5 IBE
伯東公司日本原裝進口小型離子蝕刻機, 適用於科研院所, 實驗室研究, 乾式制程的微細加工裝置, 特別適用於磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.

離子蝕刻機 7.5 IBE 技術規格

真空腔

1 set, 主體不銹鋼,水冷

基片尺寸

1 set, 4”/6”φ Stage, 直接冷卻,

離子源

φ 8cm 考夫曼離子源 KDC75

離子束入射角

0 Degree~± 90 Degree

極限真空

≦1x10-4 Pa

刻蝕性能

均勻性: ≤±5% across 4”

伯東離子蝕刻機主要優點
1. 乾式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什麼材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機台設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.

離子蝕刻機通不同氣體的蝕刻速率
NS 离子蚀刻机

Hakuto 日本原裝設計製造離子刻蝕機 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及複合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用於反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!

若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐 

T: +86-21-5046-3511 ext 107                  T: +886-3-567-9508 ext 161 

F: +86-21-5046-1490                              F: +886-3-567-0049  

M: +86 1391-883-7267 (微信同號)            M: +886-975-571-910  

qq: 2821409400   

www.hakuto-vacuum.cn                          www.hakuto-vacuum.com.tw    

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267  

伯東公司版權所有, 翻拷必究!

E-mail contact

+886-2-8772-8910

其他產品