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高精度氣體分析儀 HiQuad™
伯東公司普發 Pfeiffer 高精度氣體分析儀 HiQuad™, 可實現最高達 125μs / amu 的極高測量速度, 使用 Quadera® 軟體, 操作簡單. 質譜分析儀模組化設計方便集成, 根據實際需要可以自由選擇質量範圍, 杆直徑, 離子源, 探測器和介面.

Pfeiffer 質譜分析儀 HiQuad™優勢
1. 模組化設計靈活
2. 使用 Quadera® 軟體, 操作簡單
3. 極高的測量速度, 最高達 125μs/ amu
4. 極高的靈敏度且動態範圍寬
5. 內置的互聯網流覽器和 OPC 伺服器用於與基於 PC 的程式進行通信

質譜分析儀 HiQuad™ 技術規格

質量數 amu	1-128	1-300	1-512 *3)
最低檢測限 mbar	5X10-16	2X10-15	1X10-15
Ar 靈敏度,最低 *1) A/mbar	1X10-3	2X10-4	5X10-4
最大操作壓力 mbar
法拉第	1X10-4	1X10-4	1X10-4
SEM	1X10-5	1X10-5	1X10-5
分壓比 SEM ppb	< 0.3	< 1	< 0.5
分析儀	QMA 410	QMA 430	QMA 400
杆系統, 材料 / 直徑 mm	Mo / 16	不銹鋼 / 8	Mo / 8
射頻發生器 (RF)	QMH 400-1	QMH 400-5	QMH 400-5
靜電計前置放大器	EP 422	EP 422	EP 422
工作溫度 / 分析儀°C	150	150	150
烘烤溫度 / 分析儀 *2) °C	400	400	400
連接法蘭	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F	DN 63 CF-F

*1) 偏轉單元中的法拉第,標準解析度,帶磁鐵的交叉束離子源,發射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 最高 300°C
*3) 八小時內穩定性 < 0.1％, 有助於對相鄰質量數 40Ar / 41

Pfeiffer 質譜分析儀 HiQuad™應用

半導體                              研發                                表面分析                         氣體分析

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