Atonarp 半導體過程監控質譜儀

伯東公司代理日本 Atonarp 高科技分子傳感和數位診斷測試設備. Atonarp 通過結合先進的電子和數字處理演算法, 開創了化學成分分析領域的先河. 使高效, 經濟, 即時的獲取分子資訊成為現實! Atonarp 提供適用於半導體過程監控的 Aston™, 以及用於製藥業的 LyoSentinel™ / AMS 1000 和新平臺技術 ATON-360 ( 無需使用化學試劑即可提供實驗室品質的結果. 實現即時, 非侵入數位分子診斷測試.). Atonarp 是製藥, 半導體製造, 工業過程控制以及生命科學領域的分子診斷數字轉換的先驅.

Atonarp

Atonarp 適用於半導體过程控制質譜分析儀 Aston™

Atonarp 過程監控質譜儀 Aston™, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣線上監控, 診斷, Aston 質譜儀為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體製造工藝的產量, 吞吐量和效率.

Aston™ 質譜分析儀 CVD 典型應用: Dry pump 幹泵排氣線上監測,診斷

Aston™ 質譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 在惡劣的 CVD 環境中, Aston™ 利用可操作的數據預測和預防因 PV-CVD 幹泵引起的災難性故障, 優化氮氣吹掃成本.

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