Polycold® 水汽深冷泵介绍
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Polycold® 水汽深冷泵介绍

Polycold® 水汽深冷泵介绍
Polycold 冷凍機工作原理: 通常在高真空腔內, 水氣分子是最典型的污染氣體, 占腔內殘餘氣體 65% 到 95% , 當真空度達到 10-4 mbar 時, 水汽分子會非常難抽, 為了快速的達到較高的真空度, 伯東公司代理的 Polycold® 研發出水汽深冷泵, 快速吸附真空腔內的水汽, 輔助抽真空, 在極短的時間達到10-8 mbar 高真空. Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速閉環水氣深冷泵 (冷凍機) , 通過使用專利的 Polycold 無毒環保型冷媒, 利用麥斯納 Meissner 吸收原理, 使水氣分子在低溫盤管 Cryocoil 的超低溫表面上凝結從而被捕集. 低溫盤管可直接安裝在真空腔中, 根據客戶腔體定制.

Polycold 典型應用: 真空鍍膜 ( 濺鍍, 蒸鍍 ) 一般使用油擴散泵抽真空, 腔體內會殘留大量水汽和油蒸汽, 不但影響抽真空的時間, 水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源, 從而影響鍍膜產品的產量和品質, Polycold 冷凍機在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘餘水汽和油氣, 真空抽氣時間縮短 75%, 企業產能可增加 20% 到 100%!

Polycold 組成
A: Polycold 冷凍機主機(銅環和輪子可以選配,方便運輸)
B: 外部冷凝管(外部連接管)
C: Feedthrough
D: 真空腔
E: 冷盤 (低溫盤管)
Polycold 組成

在售 Polycold 型號

型号

MaxCool 4000H

MaxCool 2500L

PFC-552HC

PFC-672HC

最大负载 Watts

4000

2500

1000

1500

抽水汽效率 l/s

220000

140000

50000

70000

极限真空 mbar

7X10-8

1x10-9

3x10-9

8x10-9

* Polycold PFC-1102 HC 已經停產, 替代型號 MaxCool 4000H

Polycold 應用領域
半導體 semiconductors
太陽能薄膜制程 Thin Film Solar Processes
光纖市場 optical networking
平板顯示 flat panel displays
光學鍍膜 Optical Coating
捲繞鍍膜 web coating
裝飾鍍膜 decorative coating
探測器冷卻 detector cooling 技術可應用在航空, 望遠鏡以及實驗室設備

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上海伯東: 葉女士                               臺灣伯東: 王女士
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