PVD 濺鍍設備

連續式濺鍍設備


連續式濺鍍設備 In Line Sputter
量產型設備,備多種生產規格或客制化開發,適用各種不同制程
 

枚葉式蒸/濺鍍設備


多腔獨立式
包含 Load/unload & 制程腔外掛多種設計方式

批次式濺鍍設備


Batch Type Sputter
批次生產模式, 真空翻轉/公自轉設計,適用各種產品、制程
 

往覆式濺鍍式設備


Inter back Sputter
往覆式生產設計,量產兼具制程開發設備功能,客制化專屬開發
 

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