殘餘氣體分析儀 Hicube RGA
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殘餘氣體分析儀 Hicube RGA

 

 

殘餘氣體分析儀 Hicube RGA
伯東公司銷售維修德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA. 四極杆質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的完美搭配, 質量數範圍 1-300, 高解析度和靈敏度. 適用於殘餘氣體分析, 過程監測, 洩漏檢測.

殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 優勢
殘餘氣體分析和氦氣洩漏檢測模式
可用于從大氣壓至高真空環境
高解析度和靈敏度
通過真空壓力監測保護燈絲
進氣系統帶集成式切斷閥

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格

渦輪分子泵組

HiCube™ Eco

功耗

170W

電壓(範圍)

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7 hPa

真空計

PKR 361

測量範圍

1X10-9 至 1X103 hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

進氣口

DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極杆直徑/長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重複性

± 0.5 %

介面

乙太網

電源電壓

100–240 V AC,50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg


殘餘氣體分析儀 Hicube RGA 典型應用
殘餘氣體分析: 對真空系統中殘餘氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調節要求時, 殘餘物質的組成. 由此可以得出各種有關系統表面性質, 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結論. 這將為您提供有關真空室或真空元件狀態的重要資訊.

洩漏檢測: 伯東公司 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣洩漏檢測模式, 可以通過軟體控制啟動. 此功能可以方便您發現真空系統中的任何洩漏.

過程監控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測量範圍內隨時間觀察任意數量的選定品質強度, 並可對選定的各品質分配警報迴圈閾值. 如果它們高於或低於所需極限, 則可以通過數位輸出將信號提供給更高級別的控制系統. 因此殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供即時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對洩漏設定點進行快速開/關控制.

品質保證和過程優化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘餘氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和品質保證中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 並且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以匯出測量結果以進行進一步分析.

 

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