射頻離子源 RFICP 380瀏覽數: 1721
KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380
伯東公司美國 KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 38cm, 提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, 滿足 300 mm (12英寸) 晶圓應用.
-------------- 離子源自動控制器 -------------- -------- 射頻離子源 RFICP 380 本體 ----
KRi 射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術提供高密度離子, 工藝時間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動匹配
2. 離子源結構模組化設計
3. 離子光學, 自對準技術, 准直光束設計, 自動調節技術保障柵極的使用壽命和可重複的工藝運行
4. 全自動控制器
5. 離子束動能 100-1200eV
射頻離子源 RFICP 380 技術規格:
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陽極 |
電感耦合等離子體 |
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最大陽極功率 |
>1kW |
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最大離子束流 |
> 1000mA |
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電壓範圍 |
100-1500V |
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離子束動能 |
100-1200eV |
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氣體 |
Ar, O2, N2,其他 |
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流量 |
5-50sccm |
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壓力 |
< 0.5mTorr |
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離子光學, 自對準 |
OptiBeamTM |
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離子束柵極 |
38cm Φ |
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柵極材質 |
鉬或石墨 |
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離子束流形狀 |
平行,聚焦,散射 |
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中和器 |
LFN 2000 |
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高度 |
38.1 cm |
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直徑 |
58.2 cm |
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鎖緊安裝法蘭 |
12”CF |
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