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Polycold ® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
伯東公司代理 Polycold ® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵利用低溫冷媒 (-100度) 通過盤管, 將水蒸氣吸附在冷盤上, 快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機抽水氣效率高達 40,000 l/s, 在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘餘水汽和油氣, 目前 Polycold 冷凍機主要應用於半導體和真空鍍膜行業, 客戶通過使用 Polycold 水汽深冷泵, 產能可增加 20% 到 100%. MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應用, 可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵, 羅茨泵, 幹泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用. 冷凍機 Polycold  MaxCool 4000 H 是舊款型號 PFC-1102 HC全新升級款！~

Polycold 冷凍機應用:
Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統 LN2 冷卻法對比, 冷媒可迴圈使用, 大大降低了企業成本. Polycold 冷凍機主要應用於真空鍍膜 (濺鍍, 蒸鍍), 半導體(晶圓加工)行業.

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優點
低溫範圍: -98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率: 327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高品質, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2, Polycold 冷凍機選用無毒, 環保型冷媒, 可迴圈使用
低功率, 低能耗, 最大負載 4000 W

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術規格

標準性能
最大負載：Watts	4000
抽水汽效率(理論值)：l/s	327,800
保守抽速：l/s	220,000
極限工作壓力：mbar	7 x 10-8
啟動壓力：atm	1
除霜時間：分鐘	5.5
低溫盤管,連接管路
盤管表面面積：m2	2.2
單管路： 盤管直徑：mm 盤管長度：m	16 43
雙管路： 盤管直徑：mm 盤管長度：m	16 21.9
標準外部連接管長度：m	2.44
配套設施
冷卻水流量：rate l/min. 13 C˚ 26 C˚ 29 C˚	13.6 27.3 54.1
功率 kW	19.2
工作噪音(最大)：db	78
占地空間(最小)：m3	34
重量：kg	533

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率

 

MaxCool 深冷捕集泵
Polycold MaxCool 深冷機為閉環低溫製冷系統, 可分別提供最高 2,500W 或 4,000W 的製冷功率. 這些深冷機可用于收集水蒸汽和其他可冷凝的物質, 方式是將其凝固在一個冷表面上,例如低溫盤管或迷宮式障板. MaxCool 深冷機也可用於冷卻和加熱物件,例如半導體晶圓處理中使用的靜電夾頭.

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