Polycold® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
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Polycold® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

Polycold ® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
伯東公司代理 Polycold ® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵利用低溫冷媒 (-100度) 通過盤管, 將水蒸氣吸附在冷盤上, 快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽. Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機抽水氣效率高達 40,000 l/s, 在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘餘水汽和油氣, 目前 Polycold 冷凍機主要應用於半導體和真空鍍膜行業, 客戶通過使用 Polycold 水汽深冷泵, 產能可增加 20% 到 100%. MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應用, 可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵, 羅茨泵, 幹泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用. 冷凍機 Polycold  MaxCool 4000 H 是舊款型號 PFC-1102 HC全新升級款!~

Polycold 冷凍機應用:
Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法. 與傳統 LN2 冷卻法對比, 冷媒可迴圈使用, 大大降低了企業成本. Polycold 冷凍機主要應用於真空鍍膜 (濺鍍, 蒸鍍), 半導體(晶圓加工)行業.

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優點
低溫範圍: -98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率: 327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力, 從而獲得更高品質, 更好的附著力, 和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2, Polycold 冷凍機選用無毒, 環保型冷媒, 可迴圈使用
低功率, 低能耗, 最大負載 4000 W

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術規格

標準性能

最大負載:Watts

4000

抽水汽效率(理論值):l/s

327,800

保守抽速:l/s

220,000

極限工作壓力:mbar

7 x 10-8

啟動壓力:atm

1

除霜時間:分鐘

5.5

低溫盤管,連接管路

盤管表面面積:m2

2.2

單管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
43

雙管路:
盤管直徑:mm
盤管長度:m


16
21.9

標準外部連接管長度:m

2.44

配套設施

冷卻水流量:rate l/min.
13 C˚
26 C˚

29 C˚


13.6
27.3
54.1

功率 kW

19.2

工作噪音(最大):db

78

占地空間(最小):m3

34

重量:kg

533

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率

 

MaxCool 深冷捕集泵
Polycold MaxCool 深冷機為閉環低溫製冷系統, 可分別提供最高 2,500W 或 4,000W 的製冷功率. 這些深冷機可用于收集水蒸汽和其他可冷凝的物質, 方式是將其凝固在一個冷表面上,例如低溫盤管或迷宮式障板. MaxCool 深冷機也可用於冷卻和加熱物件,例如半導體晶圓處理中使用的靜電夾頭.

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