歡迎來到 Hakuto 伯東國際通商

殘餘氣體分析儀 PrismaPro
伯東公司德國普發 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 ( 四級杆質譜儀 ) 集高靈敏度, 高穩定性和智慧操作於一體, 配置新一代的操作軟體 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘餘氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 特性
模組化設計保證最佳相容性, JSON 程式設計介面和多種介面易於系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
最低可檢測分壓 3 X10^-15 hPa
可直接連接真空計,方便測量壓力

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 規格

型號	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器 / 法拉第 C-SEM / Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極杆直徑／長度	6 / 125 mm
最小檢測極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小檢測極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
最大工作壓力 F hPa	5X10-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
對臨近質量數的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度 分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度 電子	5 – 50 °C
烘烤溫度 分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹  開放式離子源,
* ²  停留時間 4秒
*³   與C-SEM相比，具有較高的靈敏度

Pfeiffer殘餘氣體分析儀應用: 四極質譜儀 QMG 非常適合於檢漏, 殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發 8. 真空工藝

若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：

上海伯東: 葉小姐                                   臺灣伯東: 王小姐 

T: +86-21-5046-3511 ext 107                  T: +886-3-567-9508 ext 161 

F: +86-21-5046-1490                              F: +886-3-567-0049  

M: +86 1391-883-7267 (微信同號)            M: +886-975-571-910  

qq: 2821409400   

www.hakuto-vacuum.cn                          www.hakuto-vacuum.com.tw    

      

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267  

伯東公司版權所有, 翻拷必究！