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伯東公司美國考夫曼離子源離子槍成功應用於離子刻蝕 (IBE)

伯東公司美國考夫曼離子源 離子槍 Kaufman & Robinson, Inc (KRi) RFICP 成功應用於離子刻蝕 (IBE).伯東公司是美國考夫曼大中國區總代理,Kaufman & Robinson, Inc 美國考夫曼公司離子源 離子槍 RFCIP系列已廣泛應用於離子刻蝕 (IBE) 工藝. 考夫曼離子源具有高離子濃度 (High beam currents) 及低離子能量 (Low beam energies). 此兩個特殊條件對於刻蝕效率及刻蝕中避免傷害到工件表面材質可以達到最佳化. 並且可以依客戶之工件尺寸選擇所對應之型號: RFICP40, RFICP100, RFICP140, RFICP200, RFICP300.
離子源離子槍
 

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伯東公司主要經營產品 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 幹式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用於各種條件下的真空測量 (真空計, 真空規管); 氦質譜測漏儀; 質譜分析儀；真空系統以及 Cryopump 冷凝泵/低溫泵,Polycold 冷凍機;美國 KRI  Kaufman 考夫曼離子源/離子槍和 inTEST 高低溫循環溫度控制系統。
 

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