真空測量原理介紹
電容真空計介紹
真空測量原理介紹
由於壓力不同，會引起電容兩極距離的變化，這會使電容的大小發生變化。這樣通過測量這種電容大小的變化，就能得知當前的真空度。直接壓強測量; 測量範圍由電極膜片厚度不同而不同
CMR系列真空計參數
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介面 |
DN 16 ISO-KF |
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解析度 |
0.003% 全量程 |
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輸出信號 |
0.4---+9.8 VDC |
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介面溫度 |
≤110 ℃ |
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最大壓力 |
2 bar |
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精度 |
0.2% of reading |
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重量 |
<300 g |
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接觸材質 |
Ceramics(AL2O3),Stainless steel |
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測量範圍 |
1.1---1.0*10-4mba |
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信號線 |
120 m |
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操作環境溫度 |
+5---+50℃ |
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儲存環境溫度 |
-40---+65℃ |
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供電電壓 |
14---30VDC |
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功率消耗 |
1W |
CMR36X與27X比較:
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型號 |
測量範圍(mbar) |
型號 |
測量範圍(mbar) |
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CMR 361 |
1100--1E-1 |
CMR 271 |
1100--1E-1 |
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CMR 362 |
110—1E-2 |
CMR 272 |
110—1E-2 |
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CMR 363 |
11—1E-3 |
CMR 273 |
11—1E-3 |
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CMR 364 |
1.1—1E-4 |
CMR 274 |
1.1—1E-4 |
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CMR 365 |
0.11—1E-5 |
CMR 275 |
0.11—1E-5 |
CMR系列真空計主要特點：
◆沒有記憶影響
◆測量精度不受被測對象的成分影響
◆無磨損，耐污染
◆使用熱膨脹係數一致的材料----出色的溫度補償能力
◆全系列抗腐蝕性氣體
◆0點穩定能力出色
◆耐空氣衝擊----無須額外的保護閥
應用實例
◆ PVA真空冶煉爐
◆株洲硬質合金
◆富士康臻龍粉末燒結爐
離子真空計原理介紹
壓強的大小一方面體現為力的大小，另一方面還體現為單位體積內分子數的多少。在高真空條件下，可以通過計量單位體積內分子數的多少，來測知當前的真空度。
電子在相同的電子能量，相同的磁場中，所引起的分子電離電流越大，說明分子數密度越大。離子真空計就是在高真空條件下，通過計量分子電離電流的大小來測得分子數密度，從而測得真空度。
冷陰極離子真空計（Cold cathode ionization vacuum gauge）
是通過加在陰陽兩極間的高電壓（3kv左右），激出電子，同時這個電場又給了電子能量，用具有一定能量的電子去電離空氣分子。
熱陰極離子真空計(Hot cathode ionization vacuum gauge是通過加熱陰極，激出電子，再設置一定的電場（100v左右），給電子一定的能量，去電離空氣分子。
冷陰極離子真空計特點:
◆ 結構簡單，可靠耐用
◆性價比高，測量範圍可到超高真空
◆耐空氣衝擊
◆全系列可防腐蝕，有高溫烘烤型
熱陰極離子真空計特點:
◆精度和精密度高
◆測量範圍寬
◆探頭自動保護
◆全系列可防腐蝕
應用實例
◆Von ardenne玻璃鍍膜生產線
◆BPS 濺鍍機
Pfeiffer離子真空計介紹
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項目 |
IKR 251 |
IKR 261 |
IKR 270 |
IMR 265 |
PBR 260 |
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信號範圍 |
1.8-8.5 V |
1.8-8.5 V |
1.8-8.5 V |
1.5-9.75 V |
0.774-10 V |
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可烘烤溫度 |
150 ℃ |
150 ℃ |
250 ℃ |
150 ℃ |
150 ℃ |
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最大耐壓 |
10 bar |
10 bar |
10 bar |
5 bar |
2 bar |
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精度 |
±30% |
±30% |
±30% |
- |
15% |
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重複精度 |
±5% |
±5% |
±5% |
2% |
5% |
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測量範圍 |
1E-2—2E-9 mbar |
1E-2—2E-9 mbar |
1E-2—5E-11mbar |
1E3—2E-6 mbar |
1E3—5E-10 mbar |
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信號線長度 |
500 m |
500 m |
500 m |
100 m |
100 m |
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電源電壓 |
15-30 V |
15-30 V |
15-30 V |
20-30 V |
20-28 V |
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功率消耗 |
2 W |
2 W |
2 W |
16 W |
16 W |