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伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340D 用於長晶爐設備測漏

 

浙江某 CVD 人造鑽石製造商採用伯東 Pfeiffer  氦質譜測漏儀 ASM340  對其 CVD 鑽石生產設備長晶爐測漏, 客戶採用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行測漏, 經過洩漏檢測, 生產的人造鑽石可以匹配甚至超過天然鑽石的品質和特性！

氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:

型號	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

 

氦質譜測漏儀 ASM340 優點:

1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質譜測漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸槍模式：5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏率

4. 移動式操作面板（有線、無線）

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8. 檢測時間短

 

待測漏產品:

 

長晶爐設備需要測漏:

在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然後通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鑽石或品質不佳.

 

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