市場訊息
伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340D 用於長晶爐設備測漏
浙江某 CVD 人造鑽石製造商採用伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340 對其 CVD 鑽石生產設備長晶爐測漏, 客戶採用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行測漏, 經過洩漏檢測, 生產的人造鑽石可以匹配甚至超過天然鑽石的品質和特性!
氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:
型號 |
ASM340 |
ASM340 D |
ASM340 I |
對氦氣的最小檢測漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
啟動時間 min |
3 |
3 |
3 |
對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
進氣口最大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前級泵 |
重量 kg |
56 |
45 |
32 |
氦質譜測漏儀 ASM340 優點:
1. 前級泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質譜測漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率:
真空模式:5E-13 Pa m3/s
吸槍模式:5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏率
4. 移動式操作面板(有線、無線)
5. 集成SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等
8. 檢測時間短
待測漏產品:
長晶爐設備需要測漏:
在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然後通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鑽石或品質不佳.
若您需要進一步的瞭解詳細產品資訊或討論 , 請參考以下聯絡方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權所有, 翻拷必究!