歡迎來到 Hakuto 伯東國際通商

伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340 用於電磁閥測漏

 

精密零件供應商生產的電磁閥閥芯, 經過鐳射焊接後, 懷疑焊縫存在微小的洩漏, 單個閥芯最終漏率需要低於 5-10 mbar l/s，經過伯東推薦 Pfeiffer  氦質譜測漏儀 ASM340  對其生產的電磁閥閥芯測漏.

氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:

型號	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

 

氦質譜測漏儀 ASM340 優點:

1. 前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質譜測漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：

   真空模式：5E-13 Pa m3/s

   吸槍模式：5E-10 Pa m3/s 目前業界公認最小漏率

4. 移動式操作面板（有線、無線）

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8. 檢測時間短

 

待測漏產品:

氦質譜測漏儀電磁閥測漏

由於半導體工業上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格.

 

若您需要進一步的瞭解詳細產品資訊或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯東版權所有, 翻拷必究!