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HVA Gate Valve在激光真空系統上的應用


伯東企業(上海)有限公司,為美國HVA 真空閥門在中國境內的指定代理商,並負責HVA Valve 真空閥門在中國地區的銷售及相關技術支持。

 

 

上海伯東公司代理美國HVA 系列真空閥門被廣泛應用於半導體、鍍膜、激光、科研、工業等領域,並與眾多國際知名的設備製造商和知名單位有合作,例如:AMAT, Lam Research, AKT, Sandia, NASA, Los Alamos等。

 

針對激光真空系統的特殊性,美國HVA 現提供帶孔真空插板閥(Gate Valve),其具體優點如下:
1、 激光束可以順利通過Gate Valve 的擋板,從而無須在系統上另外開孔,降低製造成本;
2、 孔徑的大小和數量可以根據客戶的實際情況進行測算和加工;
3、 可根據激光束的方位,在閥板上同時開立多個孔位,例如:等邊正方形,或等邊三角形等;
4、 孔的材料為石英玻璃,具有高通過性,無發散或反射干擾;
5、 整體Gate Valve 的性能及密封性與標準閥門一致。

 

目前,上海伯東公司已經成功的在上海交通大學,中科院系統等單位推廣此類帶孔真空插板閥(Gate Valve),客戶的使用效果及反映非常良好。主要規格有(也可根據客戶需求進行定制):
1) DN 160 ISO-F, 中心開孔 10mm
2) DN 160 ISO-F, 中心開孔 90mm
3) DN 160 ISO-F, 中心開孔10mm, 並四邊等距60mm, 孔徑10mm

 

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