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伯東公司又獲檢漏儀訂單——HLT 560 氦質譜檢漏儀用於真空鍍膜線檢漏

 
超聲顯示器公司成立於1991 年,是一家中外合資的高科技企業。該客戶主要生產LCD,觸摸屏等顯示器產品。擁有多條真空鍍膜線,能供應觸摸屏成品。觸摸屏電極鍍膜線,一星期左右需要更換靶材和做日常維護。換靶材和維護後,需要做真空腔室的洩漏檢測。

客戶以前用的是國產某品牌的檢漏儀,最近產能擴線後,客戶比較了6家進口檢漏儀,4家國產檢漏儀的參數性能等等。最後選擇德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,客戶看中的是Pfeiffer檢漏儀的操作簡單,性能先進,性價比高的優點.

 

 

 

檢漏儀

SmartTest HLT 560

  對氦氣的最小檢測漏率

〈5.10-12 mbar l/s

  檢測模式

  真空模式和吸槍模式

  檢測氣體

  4He , 3He, H2

  回應時間

  0.5s

  對氦氣的抽氣速度

  2.5 l/s

  進氣口最大壓力

  25 mbar

  前級泵

  旋片泵

 

真空鍍膜線的檢漏操作:
 1)將檢漏儀接入機械泵的檢漏口,啟動檢漏儀和鍍膜線

  2)慢慢打開手動閥,等3秒後,在真空腔室懷疑有漏的地方噴氦氣
  3)在有漏的地方做好標記,全部檢過後,停止檢漏儀和鍍膜線

  4)處理漏點,然後重新檢查一遍
  5)所有漏點都排除後,檢漏完成。


 

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