市場訊息
渦輪分子泵的應用
當今，現代化的半導體行業中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘餘氣體分析儀及氦質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著的改進和發展。
普發真空(Pfeiffer Vacuum), 作為渦輪分子泵的發明者, 在渦輪分子泵系列產品始終掌握著世界領先技術。
Pfeiffer 渦輪分子泵包括渦輪分子泵Hipace 10-700 l/s 系列、分子泵Hipace 1000-2000 l/s 系列、分子泵Hipace 全磁浮系列、分子泵TMH/U 10-500 l/s 系列、分子泵TPH/U 1000-2000 l/s 系列及全磁浮分子泵系列
渦輪分子泵產品優點：
1. 用於分析工業以及研究方面多種用途的免維護高性能渦輪分子泵
2. 可以配置小的前級泵，降低系統成本
3. 可以任意角度安裝，可以提供適合腐蝕氣體的分子泵型號
4. 提供更長的分子泵維修間隔，可以現場更換分子泵軸承
