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伯東離子蝕刻機對磁性材料, 黃金, 鉑和合金金屬提供蝕刻技術. 適合做各種材料的蝕刻.

型號	4 IBE	7.5 IBE	16 IBE	20 IBE-C	MEL 3100
樣品數量尺寸	4”φ, 1片	4”φ, 1片	6”φ, 1片	4”φ, 6片 6”φ, 4片	3”φ-6”φ,1片
均勻性	≤±5%	≤±5%	≤±5%	≤±5%	≤±5%

 

小型離子蝕刻機, 適用於科研院所, 實驗室研究 樣品數量尺寸: 4”φ, 1片 配置考夫曼離子源 KDC 40

 

小型離子蝕刻機, 適用於科研院所, 實驗室研究 樣品數量尺寸: 4”φ, 1片 配置考夫曼離子源 KDC 75

 

小型離子蝕刻機, 適用於科研院所, 實驗室研究 樣品數量尺寸: 4”φ, 1片

 

伯東離子蝕刻機主要優點:
1. 乾式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什麼材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.

 

 

伯東離子蝕刻機主要優點:
1. 乾式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什麼材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.

全自動離子刻蝕機, 樣品數量尺寸: 3”φ - 6”φ,1片