市場訊息
伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340D 用於 CCD 密封感光器件測漏
國內某研發和製造各種尺寸的複雜精密機電系統公司採用前級泵為幹泵的伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340D 對新研發的 CCD 密封感光器件進行測漏.
氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:
型號 |
ASM340 |
ASM340 D |
ASM340 I |
對氦氣的最小檢測漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
真空模式和吸槍模式 |
檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
啟動時間 min |
3 |
3 |
3 |
對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
進氣口最大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前級泵 |
重量 kg |
56 |
45 |
32 |
推薦理由:
1. 客戶漏率要求: 1.0X10-10 mbar l/s
2. 整個系統需要清潔無油
CCD 感光元件, Charge-coupled Device, 又稱為 CCD 圖像感測器, 是一種半導體器件, 能夠把光學影像轉化為數位信號. 一般應用於數位相機和電子顯微鏡中.
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