市場訊息
KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射製備堵片感測器薄膜
為了使堵片感測器的靈敏度, 解析度、測量範圍小、測量精度等得到提高, 可實現對堵片打開信號的可靠、穩定測量, 滿足航太飛行器發動機控制系統信號測試需要, 某堵片感測器製造商採用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射製備堵片感測器薄膜.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:
離子源型號 |
RFICP220 |
Discharge |
RFICP 射頻 |
離子束流 |
>800 mA |
離子動能 |
100-1200 V |
柵極直徑 |
20 cm Φ |
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
10-40 sccm |
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
長度 |
30 cm |
直徑 |
41 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.
KRI 離子源是領域公認的領導者, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業標準的過程中.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫衝擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權所有, 翻拷必究!