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伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340 用於流量控制閥 MFC 測漏

 

深圳某半導體設備商共採購 5 台德國普發 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340, 用於流量控制閥 MFC 測漏.

 

氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:

型號	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

 

 

流量控制閥 MFC 主要用於對氣體的品質流量進行精密測量和控制. 流量控制閥 MFC 在半導體和積體電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用.

 

伯東公司客戶主要生產流量控制閥 MFC, 由於產品的特殊性, 對密封性要求特別高, 達 5E-11 Pa m3/s, 選用其他氦質譜測漏儀根本達不到實際生產測量要求, 或者生產效率特別低下, 經過實際論證, 最終確定選用伯東公司德國普發 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340.

 

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