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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 用於修正高精度 CGH 基底
計算全息圖 CGH 作為零位補償器廣泛應用于高精度非球面的檢測, 但 CGH 的基底誤差直接限制了非球面的檢測精度. 某製造商為了獲得超高精度的 CGH 基底, 採用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產生的離子束用於修正高精度 CGH 基底的加工工藝.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:
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離子源型號 |
RFICP 220 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>800 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
20 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
10-40 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
30 cm |
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直徑 |
41 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
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運行結果：
1. KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產生的離子束修正工藝作為一種非接觸式確定性光學加工方法, 不僅不會對元件表面施加作用力, 而且還具有加工精度高、去除函數穩定、面形收斂速度快、無邊緣效應和亞表面損傷等特點, 非常適用于高精度 CGH 基底的加工.
2. 應用離子束修正高精度 CGH 基底的加工工藝具有較大優勢, 不僅具有較高的加工效率而且可以獲得超高的加工精度
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 測漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫衝擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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