5軸磁懸浮渦輪分子泵

伯東公司 Adixen by Pfeiffer Vacuum 真空產品授權代理商.可協助客戶選型並提供完善的售後維修服務.主營氦質譜測漏儀,全磁浮渦輪分子泵,旋片真空泵,幹式真空泵等廣泛應用於真空檢漏,半導體,工業,科研院校等行業。

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 500M

磁懸浮渦輪分子泵 ATH 500M 技術規格

型號

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATH 500M

160

25

550

390

190

530

2.6

<1×10-8

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600M

磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600M 技術規格

型號

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強 hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATH
500M

160

25

550

390

190

530

2.6

<1×10-8

 

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2300M

磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2300M 技術規格

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATH 2300M

250

40

2150

1800

1100

2000

2.9

<6×10-9

Pfeiffer 磁懸浮純渦輪分子泵 ATP 2300M

磁懸浮渦輪分子泵 ATP 2300M, 5軸磁軸承的純渦輪泵( 無 Holweck 級)

型號

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATP 2300M

320

40

1950

2050

1700

1900

2.1

<6×10-9

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2804 M

 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 2804 M

型號

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATH 2804M

250

40/50

2350

2300

1650

2100

3.4

<1×10-8

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 3204M

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 3204M

接口 DN

抽速 l/s

最高啟動壓強hPa

極限
壓力

進氣

排氣

N2

He

H2

Ar

N2

hPa

ATH 3204M

320

40/50

3050

2500

1700

2700

3.4

<1×10-8

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