鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
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鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
伯東公司德國普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發的鍍膜工藝監測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現在高達 10 hPa 的壓力範圍裡進行直接的工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
用於暫態過程監測的鍍膜工藝監測器離子源
用於 H2, O2, H2O 和 CO2 的優秀檢測限
對測量結果的最小化背景影響
提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行資料評估
靈活集成的緊湊尺寸
通過各種數位和類比輸入和輸出, 使系統集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用
半導體生產,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發

若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉女士                                  臺灣伯東: 王女士
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