市場訊息
伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM390 用於不銹鋼管測漏
某專門生產半導體配件公司採用移動型氦質譜測漏儀 ASM 390 對高端不銹鋼管, 閥門和歧管等配件進行測漏, 以驗收管件是否達標. 其產品漏率值需要達到 10-9mar l/s.
伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM390 技術參數:
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型號 |
ASM390 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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對氦氣的抽速 |
10 l/s |
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前級泵抽速 |
35 m3/h |
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進氣口最大壓力 |
20 mbar |
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無校準的啟動時間(20°C) |
2 min |
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進氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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回應時間 |
< 1 s |
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Interface, 選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
≤ 55 dB (A) |
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重量 |
125 kg |
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尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
待測漏產品:
半導體配件-不銹鋼管測漏方法工作示意圖如下：
移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸控式螢幕, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準
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