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伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340 用於 PECVD 測漏

 

某電子材料公司採用伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM340 對生產設備荷蘭 TEMPRESS PECVD 進行測漏，主要針對進出氣管道, 焊接處, 法蘭都位置進行測漏 ,一般漏率要求在 1.0×10^-8 mbarl/s.

 

氦質譜測漏儀 ASM340 技術參數:

型號	ASM340	ASM340 D	ASM340 I
對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
檢測模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式	真空模式和吸槍模式
檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
啟動時間 min	3	3	3
對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5	2.5	2.5
進氣口最大壓力 hPa	25	25	5
前級泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前級泵
重量 kg	56	45	32

 

PECVD 測漏原因:

PECVD 工作環境需要兩個必要條件: 低溫和真空, 由於 PECVD 結構複雜, 組成部分較多, 各元件通過各種法蘭介面連接, 當長時間運行時可能造成介面或管路鬆動, 設備漏氣, 導致真空度抽不下來, 影響沉積薄膜的品質, 這時就需要通過測漏來排查漏點. 常規的測漏如塗肥皂水等方法, 耗時耗力且精度低, 容易受操作人員干擾, 所以利用氦質譜測漏儀的排查方法越來越廣泛使用.

 

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