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伯東 Pfeiffer 氦質譜測漏儀 ASM310 用於鍍膜機測漏

 

某專門生產光學鍍膜機企業,採用伯東 Pfeiffer 可擕式氦質譜測漏儀 ASM 310 鍍膜機測漏, 主要對真空室和連接管路進行測漏, 以提高光學鏡片的合格率

 

可擕式氦質譜測漏儀 ASM 310 技術參數:

可擕式氦質譜測漏儀

ASM 310

對氦氣的最小檢測漏率

真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式

氦質譜測漏儀無油前級泵抽速

1.7m3/h

檢測氣體

4He , 3He, H2

回應時間

<1s

對氦氣的抽氣速度

1.1 l/s

氦質譜測漏儀進氣法蘭

DN 25 ISO-KF

進氣口最大壓力

15 hPa

通訊介面

RS-232

工作溫度

10-40 °C

噪音水準

< 45 dB (A)

尺寸

350 X 245 X 141 mm

重量

21 kg (46 lb)

便携式氦质谱检漏仪光学镀膜机检漏

 

鍍膜機需要測漏原因:

通常真空室內漏氣都是從室壁上的一些介面或部件之前的焊縫中發生, 當抽氣系統抽氣後使真空室內壓強降低, 外部與內部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內, 形成真空度降低. 真空度的降低則會降低光學鏡片的合格率. 因此日常測漏是必不可少的.

 

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