市場訊息

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 應用於積體電路製造中刻蝕

 

某高端半導體製造公司, 採用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100運用在積體電路製造的刻蝕工藝.

 

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數:

Model

MEL3100

Wafer size

3"~6"

Wafer per batch

1 wafer

Cassette No.

25 wafers

Cassette Q'ty

1pc.

Throughput

10 (wafer/hr) *1

Pressure Ultimate

8×10-5 (Pa) *2

Pressure Process

2×10-2 (Pa) *2

Etching Rate

>10 (nm/min)@SiO2 *3

Etching Uniformity

±5%@132mm (6") *3

Wafer surface temp.

<100℃ *3

Stage rotating

1~20 (rpm) ±5%

Stage tilting

±90°±0.5°

*1: Estimated process time 5min

*2: No wafer on stege / process chamber

*3: Depending on process

 

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產品優勢:

1. 所有流程全自動減少人工作業, 從而保證了產品的無差錯、高穩定性和高品質

2. 盒式房間採用高效微粒篩檢程式

3. 採用高品質的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

4. 佔用空間小

5. 傳輸系統採用了 SCARA 型機器人

6. 控制單元系統提供操作通過觸控式螢幕/ 10.4英寸, 資料記錄可以顯示在螢幕上

7. 高冷卻效果

8. 良好的重複性和再現性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重複性利用脈衝電動機

9. 容易維護這個系統設計重點是容易維護和用戶友好

10. 關鍵部件服務伯東的經銷商是系統中的關鍵部件渦輪泵系統、離子源提供客戶快速回應時間和本機服務能力,減少停機時間的工具

 

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