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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積製備鋰硫電池正極片

 

某鋰硫電池製造商採用伯東KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積製備鋰硫電池正極片.

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 技術參數:

射頻離子源型號

RFICP380

Discharge 陽極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 

工藝流程:

該正極片的製備在離子束濺射室內進行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.

在開始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空後, 然後利用KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來, 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳複合材料的鋰硫電池正極片.

 

KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 採用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 採用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源採用模組化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

 

為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該製造商採用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術參數如下:

2707-Operating voltage: V DC

48 (± 5 %) V DC

Ar 的壓縮比

> 1 · 1011

Ar 的抽速

665 l/s

Ar 的最終轉速時的氣體流量

3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s

H2 的壓縮比

4 · 105

H2 的抽速

555 l/s

H2 的最終轉速時的氣體流量

> 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s

He 的壓縮比

3 · 107

He 的抽速

655 l/s

He 的最終轉速時的氣體流量

10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s

I/O 介面

RS-485, 遠程, Profibus

N2 的壓縮比

> 1 · 1011

N2 的抽速

685 l/s

N2 的最大預真空

11 百帕

N2 的最終轉速時的氣體流量

6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s

不帶氣鎮的最終壓力

1 · 10-7 百帕

允許冷卻水的溫度

15 – 35 °C 攝氏度

冷卻水消耗最小值

100 l/h

冷卻水耗量

100 l/h

冷卻類型, 可選項

空氣

冷卻類型, 標準

水

聲壓水準

≤50 dB(A) 分貝 (A)

安裝方向

任何

排氣連接

G 1/8"

介面, 擴展

Profibus

方位

混合動力

最大允許磁場

6 mT

根據 PNEUROP 的最終壓力

< 1 · 10-7 百帕

電子驅動單元

帶有 TC 400

電流最大值

8,75 A

耗電量 max.

420 瓦

轉速 ± 2 %

49,200 rpm | 49,200 min-1

轉速可變化

60 – 100 %

執行時間

2 分

連接法蘭（入口）

DN 160 ISO-F

連接法蘭（出口）

DN 25 ISO-KF/G ¼"

重量

12.1 千克

防護等級

IP54

 

運行結果:

能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳複合材料.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  測漏儀,  質譜儀,  真空計,  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國 inTEST 高低溫衝擊測試機,  美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的瞭解詳細資訊或討論,  請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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