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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 用於清洗繼電器
電子元器件-繼電器在生產過程中由於手印、焊劑、交叉污染、自然氧化等, 其表面會形成各種玷污, 影響電子元器件在生產過程中的相關工藝品質, 例如繼電器的接觸電阻, 從而降低了電子元器件的可靠性和成品合格率.
某製造商為了提高電子元器件-繼電器的可靠性和成品合格率, 採用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 對繼電器進行離子束清洗.
伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:
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型號 |
RFICP 140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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該製造商通入氬氣, 利用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 電離氬氣產生氬離子, 形成氬離子束對樣品進行轟擊, 以濺射刻蝕, 從而達到清洗的效果.
氬離子優點是不會產生氧化副產物, 可以保持被清洗物的化學純淨性.
運行結果：
通過上圖: 清洗前後接觸電阻測試記錄可以看出, 清洗後不合格產品數大幅降低, 因此採用KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140清洗可以有效地降低繼電器的接觸電阻, 從而提高產品的合格率.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 測漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫衝擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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