市場訊息
某刀具廠商為了增強刀具切削性能, 採用伯東 KRI 平行型考夫曼離子源 KDC 160 輔助沉積高鋁超硬塗層.
其清洗工藝是採用 KRI 考夫曼離子源 KDC 160轟擊處理基材表面, 以清洗基材.
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伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數：
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離子源型號 |
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Discharge |
DC 熱離子 |
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離子束流 |
>650 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
16 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
2-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
25.2 cm |
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直徑 |
23.2 cm |
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中和器 |
燈絲 |
* 可選: 可調角度的支架
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其優勢：
1. KRI 考夫曼離子源 KDC 160 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用於已知的所有離子源應用.
2. 離子束流: >650 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 2-30 sccm.
3. 加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高品質, 穩定的電子流.
4. 離子源採用模組化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.
5. 無需水冷, 降低安裝要求並排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計.
KRI 考夫曼離子源 KDC 160運行結果：
1. KRI 考夫曼離子源 KDC 160輔助製備的 AlCrN 塗層的 CrN 相的結晶度明顯提高
2. 與傳統清洗技術相比, KRI 考夫曼離子源 KDC 160清洗有利於塗層以平面方式生長, 細化晶粒, 塗層硬度從HV0.1 3200 提高到 HV0.1 3600.
3. KRI 考夫曼離子源 KDC 160轟擊處理基材表面可提高膜基壓應力, 抑制裂紋擴展, 基膜結合強度提高了 10N
4. 利用KRI 考夫曼離子源 KDC 160清洗製備的 AlTISiN 塗層, 摩擦係數均在 0.2 左右, 具有良好的排屑能力
壽命提高了約3倍
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 測漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫衝擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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