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伯東公司普發 Pfeiffer 高壓縮比分子泵 HiPace H 系列
伯東公司德國 Pfeiffer 高壓縮比分子泵 HiPace H 系列, 對小分子量氣體有超高的壓縮比, 保證了真空腔體內低殘餘氣體背景時, 高和超過的真空度. 普發分子泵 HiPace H 系列特別適合要求高和超高真空的應用, 任意角度安裝, 易於集成.
分子泵 HiPace H 系列優勢
最高壓縮比, 尤其適合小分子氣體
高真空和超高真空應用的理想之選
即使與隔膜泵連接也能達到超高真空度
間斷模式能節能 90% 以上, 而性能無任何削減
防護類型 IP54 適合於工業用途
S2 和 UL/CSA 認證
分子泵 HiPace H 技術參數:
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型號 |
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進氣法蘭 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 160 ISO-K |
DN 160 CF-F |
DN 160 ISO-F |
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排氣法蘭 |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
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排氣連接 |
G 1/8" |
G 1/8" |
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Ar 抽速 |
260 l/s |
685 l/s |
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H2 抽速 |
220 l/s |
555 l/s |
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He 抽速 |
255 l/s |
655 l/s |
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N2 抽速 |
255 l/s |
665 l/s |
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轉速 ±2% |
60,000 min-1 |
49,200 min-1 |
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執行時間 |
3.5 min |
2 min |
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全轉速情況下的N2 流量 |
1.5 hPa l/s |
3.5 hPa l/s |
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全轉速情況下的H2 流量 |
10 hPa l/s |
14 hPa l/s |
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全轉速情況下的He 流量 |
3.5 hPa l/s |
18 hPa l/s |
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全轉速情況下的Ar 流量 |
0.5 hPa l/s |
2 hPa l/s |
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N2 壓縮比 |
> 1 X 1013 |
> 1 X 1013 |
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H2 壓縮比 |
1 X 107 |
2 X 107 |
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He 壓縮比 |
2.5 X 109 |
1 X 109 |
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Ar 壓縮比 |
> 1 X 1013 |
> 1 X 1013 |
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N2 最大前級真空 |
30 hPa |
22 hPa |
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H2 最大前級真空 |
15 hPa |
12 hPa |
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He 最大前級真空 |
28 hPa |
25 hPa |
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Ar 最大前級真空 |
25 hPa |
20 hPa |
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極限壓力 |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-10 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-10 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
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