新品訊息
伯東公司德國 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型測漏部件設計研發, 測漏儀配有幹式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 完全符合 Semi S2 標準. 適用於半導體和平板顯示器行業以及其他要求極高的應用.
ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的回應時間使其成為同類型測漏儀中的佼佼者！
伯東 Pfeiffer 移動型測漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:
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型號 |
ASM 390 |
ASM 392 |
ASM 380 |
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測測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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對氦氣的抽速 |
10 l/s |
25 l/s,內置2台分子泵 |
7 l/s |
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前級泵抽速 |
35 m3/h |
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進氣口最大壓力 |
20 mbar |
20 mbar |
15 mbar |
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無校準的啟動時間(20°C) |
2 min |
2 min |
< 4.5 min |
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進氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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回應時間 |
< 1 s |
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Interface, 選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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噪音 |
≤ 55 dB (A) |
≤ 55 dB (A) |
53 dB (A) |
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重量 |
125 kg |
130 kg |
110 kg |
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尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
1072 x 455 x 1025 mm |
1065 X 455 X 1025 mm |
伯東公司主營真空品牌:德國 Pfeiffer 真空設備;美國 Brooks Polycold 冷凍機;美國 KRI 考夫曼離子源;美國 HVA 真空閘閥:美國 inTEST(Temptronic)高低溫迴圈試驗機;日本 NS 離子蝕刻機等。
上海伯東：葉女士 臺灣伯東：王女士
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