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低溫泵在半導體行業的應用
伯東企業（上海）有限公司，為美國Brooks （博魯可斯）產品在中國境內的指定代理商，並負責Brooks CTI 低溫泵(冷凝泵)在中國地區的銷售及相關技術支持。
上海伯東公司代理的Brooks CTI系列低溫泵(冷凝泵)應用於半導體、集成電路、光電器件的製造工藝過程，是集成電路專用設備中的關鍵設備之一。低溫真空泵適合應用於希望獲得10-1 Pa 至10-9 Pa 真空度的場合，尤其適合應用於要求潔淨無油和或快速抽氣的場合。例如：• 濺射鍍膜• 蒸發鍍膜• 離子注入• 分子束外延
美國Brooks CTI 低溫泵(冷凝泵)在半導體行業上的應用具有以下顯著優點：
1. 真正的無油真空泵，利用低溫冷板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空，清潔無污染;
2. 抽速大：特別是對H2O、H2等氣體抽速很大，因而排氣速度比其他真空泵快，大大提高產品產出量；
3. 運行費用低：運行時只需電力和冷卻水，不需液氮等低溫液體，操作簡單方便；
4. 適應性強：真空腔內無運動部件，來自外界的干擾或來自真空系統的微粒不影響低溫泵工作；
5. 可以安裝在任何方位；
6. 運動部件少且低速運行，壽命長；
7. 所有型號的低溫泵(冷凝泵)都可以達到10－7 Pa的極限真空度，部分特殊品種的極限真空度可達10－9Pa。